플로우테크, 반도체 유해물질 누액센서 개발…"그래핀으로 내구성 개선"

플로우테크, 반도체 유해물질 누액센서 개발…"그래핀으로 내구성 개선"

wind 2021.06.03 16:03

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플로우테크가 그래핀 전극을 활용해 내구성과 내식성을 크게 개선한 유해물질 누액 센서를 개발했다.

반도체 공정에서 발생할 수 있는 불산·황산 누출 감지뿐 아니라 재사용도 가능한 것이 특징이다.

플로우테크는 한국전자기술연구원과 가천대 산학협력단 공동으로 유해물질 누액 센서용 전극 소재에 그래핀을 적용하는 기술을 개발하고 제품 상용화에 성공했다고 3일 밝혔다.